Palavra-chave: DISPOSITIVOS MOS

ELETRODOS TIN DISPOSITIVO DE ACLOPAMENTO POR CARGAS ECR-CVD HIGH K DIELECTRICS MOS DEVICES SILÍCIO-GERMÂNIO III-V COMPOUND SEMICONDUCTORS CMOS DEVICES DIELECTRIC CONSTANT ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA MEMS RTP APS FILMES FINOS ELETRÔNICA BÁSICA SILICON OXYNITRIDE SILICON DIOXIDE ION IMPLATANTION OXINITRETO DE SILÍCIO PLASMA OXIDATION OXIDAÇÃO POR PLASMA SEMICONDUCTORS CIRCUITOS INTEGRADOS LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO RUGOSIDADE CCD ALUMINUM OXYNITRIDE IMPLANTAÇÃO DE ÍONS SILÍCIO DEPOSIÇÃO CVD EDUCATION TECNICAS DE GETTERING