Palavra-chave: DISPOSITIVOS MOS

IMPLANTAÇÃO DE ÍONS ALUMINUM OXYNITRIDE SEMICONDUCTORS EDUCATION MEMS DIELECTRIC CONSTANT ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA ION IMPLATANTION RTP ELETRÔNICA BÁSICA APS CIRCUITOS INTEGRADOS HIGH K DIELECTRICS MOS DEVICES SILICON OXYNITRIDE OXINITRETO DE SILÍCIO SILÍCIO CMOS DEVICES DEPOSIÇÃO CVD DISPOSITIVO DE ACLOPAMENTO POR CARGAS ECR-CVD OXIDAÇÃO POR PLASMA III-V COMPOUND SEMICONDUCTORS TECNICAS DE GETTERING CCD SILÍCIO-GERMÂNIO SILICON DIOXIDE PLASMA OXIDATION ELETRODOS TIN FILMES FINOS RUGOSIDADE LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO