Palavra-chave: MEMS

ACELERÔMETROS MOS DEVICES CORROSÃO POR PLASMA MICRO CANTILEVER ANISOTROPY MODELOS MOS MECHANICA-STRESS SENSOR FREQUENCY SHIFT PCB PLANARIZATION NANOPARTÍCULAS REACTIVE ION ETCHING MICROFABRICATION ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA NANOTUBOS DE CARBONO POLYSILICON ACTINOMETRY FILMES FINOS ÓPTICA NANOCONTATOS SILICON NITRIDE OTIMIZAÇÃO MULTIOBJETIVO RADIOFREQUENCY PLASMA MICROFABRICAÇÃO DESCARGA RF LITOGRAFIA ÓPTICA CMOS CHEMICAL VAPOR DEPOSITION ANALOGUE INTEGRATED CIRCUIT REAPROVEITAMENTO DE ENERGIA ALGORITMO DE EVOLUÇÃO DIFERENCIAL PIEZOJUNCTION EFFECT PRESSURE SENSOR MICROMECATRÔNICA MICROELECTRONICS PIEZORESISTIVE EFFECT DISPOSITIVOS MOS MICRO-REATORES BCB KOH TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE CI´S RESIDUAL STRESS GRADIENT