Palavra-chave: MEMS

FREQUENCY SHIFT MICROFABRICATION PCB DISPOSITIVOS MOS ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA CORROSÃO POR PLASMA PLASMA OTIMIZAÇÃO MULTIOBJETIVO MICRO-REATORES NANOPARTÍCULAS BCB MOS DEVICES LITOGRAFIA ÓPTICA DESCARGA RF REACTIVE ION ETCHING MICROELECTRONICS POLYSILICON ANISOTROPY MICROFABRICAÇÃO MECHANICA-STRESS SENSOR ACTINOMETRY ANALOGUE INTEGRATED CIRCUIT PLANARIZATION RADIOFREQUENCY PIEZOJUNCTION EFFECT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CMOS MICRO CANTILEVER NANOTUBOS DE CARBONO ÓPTICA REAPROVEITAMENTO DE ENERGIA ACELERÔMETROS MICROMECATRÔNICA FILMES FINOS MODELOS MOS NANOCONTATOS KOH PIEZORESISTIVE EFFECT RESIDUAL STRESS GRADIENT PRESSURE SENSOR ALGORITMO DE EVOLUÇÃO DIFERENCIAL SILICON NITRIDE TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE CI´S