Palavra-chave: MEMS

RESIDUAL STRESS GRADIENT KOH PCB BCB LITOGRAFIA ÓPTICA NANOCONTATOS ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA MICROELECTRONICS NANOPARTÍCULAS MICRO CANTILEVER ALGORITMO DE EVOLUÇÃO DIFERENCIAL OTIMIZAÇÃO MULTIOBJETIVO CMOS MICRO-REATORES PRESSURE SENSOR MOS DEVICES RADIOFREQUENCY FREQUENCY SHIFT PLANARIZATION MICROFABRICAÇÃO MECHANICA-STRESS SENSOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SILICON NITRIDE PIEZOJUNCTION EFFECT ÓPTICA ANISOTROPY MODELOS MOS REACTIVE ION ETCHING ACTINOMETRY DISPOSITIVOS MOS NANOTUBOS DE CARBONO CORROSÃO POR PLASMA ANALOGUE INTEGRATED CIRCUIT POLYSILICON PIEZORESISTIVE EFFECT FILMES FINOS PLASMA ACELERÔMETROS TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE CI´S MICROFABRICATION DESCARGA RF