Palavra-chave: MEMS

RADIOFREQUENCY FREQUENCY SHIFT MICROMECATRÔNICA ANALOGUE INTEGRATED CIRCUIT ALGORITMO DE EVOLUÇÃO DIFERENCIAL OTIMIZAÇÃO MULTIOBJETIVO PIEZORESISTIVE EFFECT NANOPARTÍCULAS PLASMA REACTIVE ION ETCHING LITOGRAFIA ÓPTICA DISPOSITIVOS MOS MICROFABRICAÇÃO NANOCONTATOS KOH ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE CI´S REAPROVEITAMENTO DE ENERGIA POLYSILICON PLANARIZATION MECHANICA-STRESS SENSOR ANISOTROPY CORROSÃO POR PLASMA NANOTUBOS DE CARBONO ACELERÔMETROS MODELOS MOS RESIDUAL STRESS GRADIENT ÓPTICA PRESSURE SENSOR CMOS CHEMICAL VAPOR DEPOSITION BCB MICRO-REATORES DESCARGA RF MICROFABRICATION PCB MICRO CANTILEVER MOS DEVICES MICROELECTRONICS PIEZOJUNCTION EFFECT ACTINOMETRY SILICON NITRIDE FILMES FINOS