Palavra-chave: RTP

JUNCOES RASAS MOS DEVICES VACUUM SILICETOS DE TITÂNIO OXIDOS DOPADOS ESCOAMENTO DE PSG CMOS DEVICES JUNCAO RASA FILMES FINOS SILICON SILICON OXYNITRIDE DOPAGEM DE SI COM BORO SILICON DIOXIDE ION IMPLATANTION SIGE OXINITRETO DE SILÍCIO SPUTTERING DEPOSITION LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO RUGOSIDADE ALUMINUM OXYNITRIDE IMPLANTAÇÃO DE ÍONS DIFUSAO PSG DISPOSITIVOS MOS PROCESSO DE FORMAÇÃO ESTRUTURA SALICIDE SILICETO DE TITANIO CONTACTS