Palavra-chave: RTP

IMPLANTAÇÃO DE ÍONS SILICON DIOXIDE PSG SPUTTERING DEPOSITION RUGOSIDADE DISPOSITIVOS MOS ION IMPLATANTION ESTRUTURA SALICIDE OXINITRETO DE SILÍCIO JUNCAO RASA VACUUM DOPAGEM DE SI COM BORO ALUMINUM OXYNITRIDE ESCOAMENTO DE PSG JUNCOES RASAS DIFUSAO OXIDOS DOPADOS SILICETO DE TITANIO PROCESSO DE FORMAÇÃO SILICETOS DE TITÂNIO SIGE SILICON LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO MOS DEVICES CMOS DEVICES CONTACTS FILMES FINOS SILICON OXYNITRIDE