Palavra-chave: RTP

CONTACTS ION IMPLATANTION SILICON DIOXIDE ALUMINUM OXYNITRIDE SILICETOS DE TITÂNIO SILICON VACUUM OXINITRETO DE SILÍCIO SILICETO DE TITANIO DIFUSAO JUNCAO RASA ESCOAMENTO DE PSG RUGOSIDADE MOS DEVICES IMPLANTAÇÃO DE ÍONS CMOS DEVICES ESTRUTURA SALICIDE SPUTTERING DEPOSITION DOPAGEM DE SI COM BORO JUNCOES RASAS PSG DISPOSITIVOS MOS OXIDOS DOPADOS FILMES FINOS PROCESSO DE FORMAÇÃO LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO SILICON OXYNITRIDE SIGE