Palavra-chave: RTP

IMPLANTAÇÃO DE ÍONS ALUMINUM OXYNITRIDE DISPOSITIVOS MOS ION IMPLATANTION OXIDOS DOPADOS SIGE SPUTTERING DEPOSITION JUNCOES RASAS MOS DEVICES SILICON OXYNITRIDE OXINITRETO DE SILÍCIO SILICETOS DE TITÂNIO ESCOAMENTO DE PSG DOPAGEM DE SI COM BORO CMOS DEVICES SILICON VACUUM JUNCAO RASA PROCESSO DE FORMAÇÃO DIFUSAO PSG SILICON DIOXIDE FILMES FINOS CONTACTS SILICETO DE TITANIO ESTRUTURA SALICIDE RUGOSIDADE LÂMPADAS DE TUNGSTÊNIO-HALOGÊNIO