Palavra-chave: MICROELETRONICA

ENCAPSULAMENTO ELETRONICO CARBONO HIDROGENADO CORROSÃO POR PLASMA JUNCAO RASA CONTAMINACAO RELATIVA DIELECTRIC FORNO FILMES FINOS PLASMAS CONTATO ÔHMICO CORROSAO ISOTROPICA MATRIZ 303 CONTATOS ESCALAMENTO DE DIMENSÕES CORROSIÓN ANOSOTRÓPICA SILICIO CHIP PLASMA DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES CORROSAO SECA MICROFABRICAÇÃO LINHA DE MONTAGEM ECR CMOS DEPOSIÇÃO POR PLASMA CARACTERIZACAO SEMICONDUCTORS DIELÉTRICOS PROJETO MULTI-USUÁRIO CIRCUITOS INTEGRADOS RUGOSIDADE SINTERIZACAO CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO EXPERIMENTOS PROJETADOS ENERGIA DE ATIVACAO DEPOSIÇÃO CVD ANISOTROPIA PLASMA ETCHING MARCAS DE ALINHAMENTO METODO DAS RESPOSTAS SUPERFICIAIS ISOTROPIA SILICETOS