Palavra-chave: MICROELETRONICA

LINHA DE MONTAGEM CARACTERIZACAO DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES PLASMA CONTATOS FORNO METODO DAS RESPOSTAS SUPERFICIAIS DEPOSIÇÃO CVD RUGOSIDADE CORROSIÓN ANOSOTRÓPICA SILICIO DIELECTRIC CHIP CONTAMINACAO RELATIVA MARCAS DE ALINHAMENTO MICROFABRICAÇÃO PLASMAS ENCAPSULAMENTO ELETRONICO SINTERIZACAO ECR SILICETOS DEPOSIÇÃO POR PLASMA JUNCAO RASA CORROSÃO POR PLASMA DIELÉTRICOS PROJETO MULTI-USUÁRIO CORROSAO SECA CONTATO ÔHMICO CMOS ANISOTROPIA ISOTROPIA ESCALAMENTO DE DIMENSÕES PLASMA ETCHING ENERGIA DE ATIVACAO EXPERIMENTOS PROJETADOS CIRCUITOS INTEGRADOS CORROSAO ISOTROPICA MATRIZ 303 CARBONO HIDROGENADO SEMICONDUCTORS CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO FILMES FINOS