Palavra-chave: CORROSÃO POR PLASMA

MODELAMENTO DE INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE MEMS INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE PLASMA SEMICONDUCTOR REACTIVE ION ETCHING CORROSIÓN ANOSOTRÓPICA SILICIO ESPECTROSCOPIA ÓPTICA MICROFABRICAÇÃO HBT, VERTICAL MOSFET, TFET E JNT NANO/MICROELETRÔNICA CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO POLYSILICON ECR DEPOSIÇÃO POR PLASMA ANISOTROPY METALIZAÇÃO FILMES FINOS DIELÉTRICOS E PASSIVADORES DIELÉTRICOS PLASMA ETCHING DESCARGAS ELÉTRICAS DESCARGA RF GAAS MECHANISMS ECR PLASMAS CRESCIMENTOS EPITAXIAIS EM III-V: CBE E MOCVD PREENCHIMENTO DE VIAS MICROELETRONICA TUNGSTÊNIO ACTINOMETRY FILMES FINOS