Palavra-chave: CORROSÃO POR PLASMA

DIELÉTRICOS TUNGSTÊNIO CORROSIÓN ANOSOTRÓPICA SILICIO MECHANISMS ECR PLASMAS INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE GAAS CRESCIMENTOS EPITAXIAIS EM III-V: CBE E MOCVD MICROFABRICAÇÃO ECR ESPECTROSCOPIA ÓPTICA MODELAMENTO DE INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE NANO/MICROELETRÔNICA ANISOTROPY CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO SEMICONDUCTOR MEMS DEPOSIÇÃO POR PLASMA FILMES FINOS DIELÉTRICOS E PASSIVADORES METALIZAÇÃO MICROELETRONICA HBT, VERTICAL MOSFET, TFET E JNT REACTIVE ION ETCHING ACTINOMETRY PLASMA ETCHING PREENCHIMENTO DE VIAS POLYSILICON DESCARGAS ELÉTRICAS FILMES FINOS PLASMA DESCARGA RF