Palavra-chave: CORROSÃO POR PLASMA

INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE ANISOTROPY METALIZAÇÃO GAAS SEMICONDUCTOR PREENCHIMENTO DE VIAS HBT, VERTICAL MOSFET, TFET E JNT REACTIVE ION ETCHING POLYSILICON MEMS MODELAMENTO DE INTERAÇÃO PLASMA-SUPERFÍCIE ACTINOMETRY FILMES FINOS TUNGSTÊNIO CORROSIÓN ANOSOTRÓPICA SILICIO PLASMA MICROFABRICAÇÃO DESCARGA RF ECR MECHANISMS ECR PLASMAS NANO/MICROELETRÔNICA DEPOSIÇÃO POR PLASMA FILMES FINOS DIELÉTRICOS E PASSIVADORES DIELÉTRICOS ESPECTROSCOPIA ÓPTICA CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO DESCARGAS ELÉTRICAS CRESCIMENTOS EPITAXIAIS EM III-V: CBE E MOCVD PLASMA ETCHING MICROELETRONICA