Palavra-chave: GAAS

ANNEALING IMPLANTAÇÃO DE ÍONS ION IMPLANTATION MOUNDS SPIN-ON-GLASS INGAP INPLANTATION MODELO DE CORRENTE DC MIXER MSM IMPUREZAS CARACTERIZAÇÃO RTA PERFIL DE DOPAGEM SEMICONDUCTOR EPITAXIAL DIFUSÃO "MOUND" RAMAN REACTIVE ION ETCHING SISTEMA RIE EPITAXIA MICROFABRICAÇÃO GROWTH DINÂMICA DE SPIN DOPAGEM LASER DRIVER RECOZIMENTO TÉRMICO RÁPIDO X-RAY ELECTRON SPECTROSCOPY CORROSÃO DE TUNGSTÊNIO HOT ELECTRONS GAASP HBT OPTOELETRÔNICA INTEGRADA METALIZAÇÃO CORROSÃO POR PLASMA POÇO QUÂNTICO PASSIVAÇÃO CHLORINE HALL SENSOR UPS ELECTRICAL ACTIVATION SOG SPIN-ON GLASS CONTATOS ELÉTRICOS CORROSÃO POR PLASMAS POLARIZACAO LO PHONON DIFUSAO SI+ IMPLANTATION TRANSISTORES BIPOLARES CIRCUITOS INTEGRADOS FOTODETECTOR MESFET CDW LNA LINESHAPE FOTOLUMINESCENCIA EFFECTIVE TEMPERATURE