Palavra-chave: POLIMERIZAÇÃO A PLASMA

FILME FINO IMPLANTACAO IONICA DESCARGAS RF ACTINOMETRIA ESPECTROSCOPIA INFRAVERMELHA ESTRUTURA MOLECULAR DUREZA SUPERFICIAL ESPECTROSCOPIA DE EMISSAO OPTICA TENSÂO INTERNA XPS ESPECTROSCOPIA ÓPTICA DE EMISSÃO MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE TRANSMISSÃO PROPRIEDADES ÓPTICAS PLASMA RF IRRADIAÇÃO IÔNICA ESPECTROSCOPIA OPTICA DE EMISSAO NANOESTRUTURA DESCARGA RF PLASMA DC DESCARGA LUMINESCENTE ESTRUTURA ELETRÔNICA HEXAMETIL-DISILOXANO MÉTODOS SEMI-EMPÍRICOS FILMES FINOS