Palavra-chave: HEXAMETIL-DISILOXANO

POLIMERIZAÇÃO A PLASMA ESPECTROSCOPIA ÓPTICA DE EMISSÃO ACTINOMETRIA PROPRIEDADES ÓPTICAS ESTRUTURA MOLECULAR PLASMA DC PLASMA RF FILMES FINOS ION IMPLANTATION INFRARED SPECTROSCOPY ACETYLENE PECVD HEXAMETHYLDISILAZANE THIN FILM IRRAS