Palavra-chave: HEXAMETIL-DISILOXANO

ESPECTROSCOPIA ÓPTICA DE EMISSÃO ACTINOMETRIA POLIMERIZAÇÃO A PLASMA ESTRUTURA MOLECULAR PLASMA RF PROPRIEDADES ÓPTICAS PLASMA DC FILMES FINOS INFRARED SPECTROSCOPY ION IMPLANTATION ACETYLENE PECVD THIN FILM HEXAMETHYLDISILAZANE IRRAS