Palavra-chave: SPUTTERING

TERRAS RARAS METASTABLE ALLOY ÓXIDOS EIS CAPACITOR GD/W FILM DIAGNÓSTICOS DE SUPERFÍCIES ERBIO EIS MOS CAPACITOR SUPERFERROMAGNETISM LITOGRAFIA NITRETOS SILÍCIO AMORFO BOTTOM ELECTRODE COPPER OXIDE NANOPARTICLES TIO2 THIN FILMS SEMICONDUTORES AMORFOS BOTTOM ELECTRODE CRYSTALIZATION MAGNETOCALORICO ISFET INTERAÇÃO PLASMA-SUPEFÍCIE SUPERPARAMAGNETISM PLASMAS REATIVOS ELECTROLYTE INSULATOR SEMICONDUCTOR SENSING SYSTEMS ESPECTROSCOPIA ÓPTICA CAPACITORS PROCESSAMENTOP DE MATERIAIS SPIN-GLASS LIKE FERROMAGNETISM LNO REACTIVE ION ETCHING TITANIUM OXIDE GD-CR THIN FILM FOTOLUMINESCENCIA TERBIO FILMES FINOS PZT HYBRID STRUCTURE AC SUSCEPTIBILLITY NEODÍMIO GD/CR FILM