Palavra-chave: CVD

SILICON FILMS RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY DIAMANTE DOPADO COM BORO OXIDO DE VANADIO COMPOSTOS III-V VOLTAMETRIA PHEMA HFMOD INFRARED SPECTROSCOPY NITRETO DE SILICIO XPS ÓXIDO DE MOLIBDÊNIO ELECTROCHROMISM ELETROANÁLISE NANOTUBOS DE CARBONO ÓXIDO DE TUNGSTÊNIO ETANOL PLASMA REATIVO ÓXIDO DE MOLIBDENIO DESCARGAS ELÉTRICAS PLASMA ECR THIN FILM NITRETO DE SILÍCIO AMORFOS MOLYBDENUM OXIDE DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS CFD FILMES FINOS