Palavra-chave: CVD

NITRETO DE SILÍCIO PHEMA ÓXIDO DE TUNGSTÊNIO ÓXIDO DE MOLIBDENIO NANOTUBOS DE CARBONO HFMOD NITRETO DE SILICIO FILMES FINOS INFRARED SPECTROSCOPY RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY CFD SILICON FILMS XPS ETANOL VOLTAMETRIA ELETROANÁLISE THIN FILM AMORFOS DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS PLASMA ECR DESCARGAS ELÉTRICAS PLASMA REATIVO OXIDO DE VANADIO ÓXIDO DE MOLIBDÊNIO COMPOSTOS III-V MOLYBDENUM OXIDE DIAMANTE DOPADO COM BORO ELECTROCHROMISM