Palavra-chave: CVD

ÓXIDO DE TUNGSTÊNIO HFMOD COMPOSTOS III-V INFRARED SPECTROSCOPY PHEMA ELETROANÁLISE XPS PLASMA REATIVO DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS AMORFOS ETANOL OXIDO DE VANADIO VOLTAMETRIA DIAMANTE DOPADO COM BORO ELECTROCHROMISM THIN FILM RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY CFD MOLYBDENUM OXIDE NANOTUBOS DE CARBONO ÓXIDO DE MOLIBDENIO ÓXIDO DE MOLIBDÊNIO NITRETO DE SILICIO DESCARGAS ELÉTRICAS FILMES FINOS SILICON FILMS NITRETO DE SILÍCIO PLASMA ECR